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株式会社トリケミカル研究所様の声

- 導入事例・実績 -

装置
ピューリックαシリーズ(PR-FP-0120α-UT1)、ピュアライトPRシリーズ
施設名
株式会社トリケミカル研究所(アネックス棟)
ご担当者
飯盛 敏彦 様
URL
http://www.trichemical.com/index.html

会社の紹介

スマートフォン、パソコンのCPU、家電製品、クレジットカード、ICチップなどに使われている「半導体」。この半導体の進歩によって、これら製品の高性能化、小型化、高速化、省エネ化、低コスト化などが実現しています。
株式会社トリケミカル研究所 様は、半導体製造に必要な材料や薬品などの研究開発・製造・販売を行っています。
そんな半導体分野の発展を支える現場でもオルガノの純水・超純水装置が活躍しています。

株式会社トリケミカル研究所様

事業の内容

お客様の事業と業務内容について教えてください。

実際の設置写真

シリコン半導体製造用の化学薬品や光ファイバー用の高純度化学薬品の製造・販売を行っています。
化学薬品は、どんなに少量であってもお客様のモノづくりには欠かせない材料ですので、そういった個別のニーズに対応するため、新しい半導体材料の研究開発も行っています。
中でも私は、製品中に含まれる不純物(主に微量金属類)を測定して検査をする品質管理業務に携わっています。

用途・きっかけ

お客様の業務、研究において、超純水の用途を教えてください。
なぜ超純水が必要なのでしょうか。

設置写真

微量金属測定やイオン測定などで製品の検査をしていますが、その分析用水として超純水を使用します。具体的にはサンプルの前処理(酸調整)用、濃度調整、検量線作成(ブランク水)です。
製品中の微量金属を測定していることから、水に少量の不純物が含まれていると測定結果に影響を与えてしまいます。
そのため、精度の高い結果を得るためには高純度の超純水が必要です。

フロー図

オルガノ製品を検討し始めたきっかけを教えてください。

以前は他社装置を使用していましたが、消耗品が高かったので他メーカーへの切替を視野に入れていました。今回純水装置の導入にあたり、メーカーを5社ほど比較検討しましたが、その際に、日本の水処理企業であるオルガノでもラボ用の超純水装置を取り扱っていることを知りました。
今回はメンテナンス費用を抑えたいと思っていましたので水質だけでなくランニングコストが安いことも重視していました。

選定の決め手

オルガノ製品を選んでいただた決め手は何でしょうか。

設置写真

一番の決め手は、弊社が所有しているメーカーの装置と一緒にオルガノ装置が使われている実績があったことです。日本企業である安心感もありました。
また、研究所が移設直後だったこともあり、複数階にわたって配管工事をする必要がありました。ですので、柔軟なカスタマイズを得意とするオルガノさんに依頼することを決めました。

現在、研究所では合計6式のオルガノ装置を使用しており、1階ではクリーンルーム内で超純水装置4式、2階ではセントラル用の純水装置1式と一般実験用の超純水装置1式が稼働しています。

良かった点・改善してほしい点

オルガノ製品に満足していることを教えてください。

設置写真

実は導入した直後は、純水の比抵抗値が低く問題がありました。営業担当の方に相談したところ、セントラル水循環の配管距離が長いことが原因と分かり、対策として純水採水ディスペンサーの直前にイオン交換樹脂カートリッジを設置しました。これにより私たちが求めていたレベルまで純水の純度を高めることができました。
標準装置だけでなく、設備全体を通してカスタマイズ対応して頂けたことにとても満足しています。
超純水の純度についても非常に安定しています。微量金属が溶出することもありません。

オルガノ製品に対して、不満な点があれば忌憚なきご意見をお願い致します。

純水・超純水装置の消耗品交換の際、取扱説明書を参照しているが分かりにくいと思いました。
作業していると取扱説明書だけでは足りないことがあり、後で取扱説明書に手書き追記して対応しています。細かい作業テクニックや作業項目なども明記して欲しいです。

最後に一言お願いします。

トラブル等で連絡したときに購入先販売店である西川計測様と連携しスムーズに対応して頂いているので、満足しています。

頂いたご意見を今後の開発に活かしてまいります。ご協力ありがとうございました。

※お客様情報は取材当時のものです。

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