殺菌UVランプには、微生物中の核酸（DNAやRNA）の一部を変化させて増殖能力を抑える技術を利用しています。専門的には、これを不活化と言います。

この現象は、UVと核酸による一種の光反応です。紫外線の電磁波（光子）が菌細胞の核酸に吸収され、核酸を構成する塩基と化学反応を起こすことで、核酸の機能を失わせています。

図１で分かるように、波長が260nm付近の時に最も核酸の吸収があります。また、微生物の不活化曲線のピークは260nm付近です。

このことから、260nm付近の波長の出力が高い低圧水銀ランプやUV-LED等が殺菌に利用されます。

酸化UVランプには、水（H₂O）を・OHラジカル*¹に変化させて、有機物を有機酸またはCO₂に分解する技術を利用しています。水の吸収波長は150nm付近にあると言われ、この波長に近づければ・OHラジカルの発生は効率的になります。

しかし、ランプに用いている石英管や水の光吸収で、波長を短くすると光の届く範囲（＝有機物を分解できる範囲）が少なくなり、有機物の分解効率が下がる事もあります。

このことから、現在は主に180nm付近の波長の出力が高い低圧水銀ランプやエキシマランプなどが利用されます。
*¹ ラジカル：不対電子をもつ原子や分子、あるいはイオンのこと。