業界最高水準の水質

• TOC≦1ppb、メタル≦0.01ppt、シリカ≦50ppt、ホウ素≦1ppt、微粒子(50nm) ≦1個/mL
• 半導体グレードのイオン交換樹脂を採用し、
  イオンや微粒子の溶出を徹底的に除去
• 超純水プラントの処理フローを実装し、高純度の水を安定供給

※弊社分析部門による評価結果。メタル、ホウ素、微粒子はオプションカートリッジを採用

水銀フリーUV酸化ランプ

• 安全かつ環境に配慮したXe（キセノン）ランプを採用
• 水銀廃棄物管理の規制対象外

高機能ディスペンサー

• 採水スピードは1滴～最大2L/minの範囲で調節可能
• 視認性に優れた大型タッチパネル
• 直感的に操作がしやすいボタン配置

徹底したコンタミネーション対策

• 超純水が接液する部材には溶出の少ない素材を採用。超微量物質の混入に配慮。
  採水台座はドラフト内に設置して使用することを想定して設計
• ICP-MS専用リンスポート（オプション）を使用することでフレッシュな超純水を分析装置に導入。
• 踏む強さで流量を調節できる アクセル型フットコントローラー（オプション）により、手作業によるコンタミネーションのリスクを低減。